| 发明名称 |
PROCESS FOR MANUFACTURING THE ISOLATING REGIONS OF A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2148593(B) |
申请公布日期 |
1987.06.10 |
| 申请号 |
GB19840022520 |
申请日期 |
1984.09.06 |
| 申请人 |
* HITACHI LTD |
发明人 |
MIKINORI * KAWAJI;TOSHIHIKO * TAKAKURA;AKIHISA * UCHIDA;SHIGEO * KURODA |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/763;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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