发明名称 PROCESSING OF METALLIC CHARGE-TRANSFER SALTS.
摘要 Des sels métalliques d'agents organiques de transfert de charge, tels que TCNQ, TNAP, TCNE et DDQ et leurs dérivés, peuvent être traités par un faisceau d'électrons (22) afin d'être utilisés dans des applications électroniques et optiques diverses. Les sels métalliques (20) de transfert de charge peuvent être utilisés pour déposer directement des lignes conductrices (24) de haute résolution sans passer par des solutions de développement ou des étapes ultérieures de métallisation. Les composés peuvent également être utilisés de manière conventionnelle comme vernis photosensibles de dopage (c'est-à-dire pour la diffusion ou l'implantation d'ions) ou pour diffuser des métaux (12) dans des substrats (14). En particulier on peut former des dispositifs électroniques, des dispositifs optiques et des dispositifs d'enregistrement d'images par de simples faisceaux d'électrons (22) de traitement de pellicules (20) de sels métalliques de transfert de charge déposées sur des substrats (14).
申请公布号 EP0223836(A1) 申请公布日期 1987.06.03
申请号 EP19860903908 申请日期 1986.05.28
申请人 BROWN UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION 发明人 RISEN, WILLIAM, M., JR.;KAMITSOS, EFSTRATIOS, I.
分类号 G03C1/735;G03C5/56;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/312;H01L31/0224;H01L51/30;(IPC1-7):G03C1/49;H01L45/00;H01L29/28;G03C1/72;G03C5/00;G03C1/50;G03H5/00 主分类号 G03C1/735
代理机构 代理人
主权项
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