| 发明名称 |
Method for manufacturing a thin film solar cell. |
| 摘要 |
<p>Um Überprüfen zu können, ob ein Glimmprozeß ordnungsgemäß, d. h. reproduzierbar durchgeführt wird, wird der zeitliche Verlauf der Bildung von charakteristisch flüchtigen Reaktionsprodukten massenspektrometrisch verfolgt.</p> |
| 申请公布号 |
EP0224231(A2) |
申请公布日期 |
1987.06.03 |
| 申请号 |
EP19860116235 |
申请日期 |
1986.11.24 |
| 申请人 |
NUKEM GMBH |
发明人 |
HEWIG, GERT, DR.;SCHUM, BERTHOLD;WORNER, JORG, DR. |
| 分类号 |
H01J37/32;H01L31/02;H01L31/0336;H01L31/072;H01L31/18;H01L31/20 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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