| 发明名称 |
A METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING AN HF-INDUCED NOBLE-GAS PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2183087(A) |
申请公布日期 |
1987.05.28 |
| 申请号 |
GB19860027399 |
申请日期 |
1986.11.17 |
| 申请人 |
PAAR ANTON KG;KNAPP GUENTER DR DIPL ING |
发明人 |
PROF DR GUNTER * KNAPP;ANDREAS * SCHALK |
| 分类号 |
H01J65/04;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/36;H01J65/00 |
主分类号 |
H01J65/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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