| 发明名称 |
METHOD FOR SEPARATING SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3562057(A) |
申请公布日期 |
1971.02.09 |
| 申请号 |
USD3562057 |
申请日期 |
1967.05.16 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
KENNETH WAYNE MCALISTER;WARREN RICE |
| 分类号 |
H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):B01J17/00;H01L5/00;H01R39/00 |
主分类号 |
H01L21/301 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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