摘要 |
<P>PROCEDE DE PRODUCTION D'UN GUIDE D'ONDES LUMINEUSES PLAN AVEC DES ZONES CONDUCTRICES DE LUMIERE 1.</P><P>DE MINCES COUCHES VITREUSES SONT DEPOSEES SUR UN SUBSTRAT 2 PAR UNE REACTION HETEROGENE A PARTIR DE LA PHASE VAPEUR: D'ABORD UNE COUCHE 3 CONTENANT UN DOPANT (BORE, FLUOR) ABAISSANT L'INDICE DE REFRACTION, PUIS UNE COUCHE DE RECOUVREMENT 4 CONSTITUANT UNE BARRIERE DE DIFFUSION POUR LEDIT DOPANT AVEC STRUCTURATION CORRESPONDANT A UN MOTIF DE RUBANS SOUHAITE, PAR LA TECHNIQUE DE MASQUAGE HABITUELLE. PAR CHAUFFAGE, LE DOPANT EST ENSUITE CHASSE DANS UNE LARGE MESURE DES ZONES NON RECOUVERTES, PAR DIFFUSION, EN FORMANT LE COEUR OU UNE PARTIE DU COEUR DES ZONES CONDUCTRICES DE LUMIERE. LE GUIDE D'ONDES LUMINEUSES EST ENFIN COMPLETE PAR LE DEPOT D'UN AUTRE SYSTEME DE COUCHES 5.</P>
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