| 发明名称 |
SUBMICRON MASK OPENINGS USING SIDEWALL AND LIFT-OFF TECHNIQUES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU5884686(A) |
申请公布日期 |
1987.05.21 |
| 申请号 |
AU19860058846 |
申请日期 |
1986.06.13 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
ROBERT KIMBAL COOK;JOSEPH FRANCIS SHEPARD |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/033;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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