| 发明名称 |
VAKUUMSTYRING AV DAMPTRANSPORT. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NO872020(A) |
申请公布日期 |
1987.05.14 |
| 申请号 |
NO19870002020 |
申请日期 |
1987.05.14 |
| 申请人 |
AIR PROD & CHEM |
发明人 |
GRAF HANS-JUERGEN;RHINE BRUCE E;MONKOWSKI JOSEPH R;RANDTKE PETER T;FLETCHER ROBERT E |
| 分类号 |
H01L21/205;B01J3/02;B01J4/00;B01J4/02;C23C16/448;G05D7/01;H01L21/31;(IPC1-7):B01J/ |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
