| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER CONTROLLARE IL TENORE DI OSSIGENO DI BARRE DI SILICIO TIRATE SECONDO IL METODO DI CZOCHRALSKI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1167543(B) |
申请公布日期 |
1987.05.13 |
| 申请号 |
IT19810022487 |
申请日期 |
1981.06.22 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
COMBRONDE JACQUES;FELIX JEAN-CLAUDE |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B15/20;C30B15/30;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):G01N/ |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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