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发明名称 PLASMA VAPOR REACTOR
摘要
申请公布号 JPS6298726(A) 申请公布日期 1987.05.08
申请号 JP19850239008 申请日期 1985.10.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IMAFUKU KAZUHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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