发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6298644(A) 申请公布日期 1987.05.08
申请号 JP19850238763 申请日期 1985.10.24
申请人 NEC CORP 发明人 ITO SOICHI;SHIMIZU JUNZO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/82;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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