发明名称 Photolithographic mask
摘要 The invention relates to a photolithographic mask comprising a substrate and a masking layer, in which the masking layer comprises an alloy of metals and metalloids. The entire photolithographic mask is transparent to visible light; only the masking layer is opaque to ultraviolet light.
申请公布号 DE3539183(A1) 申请公布日期 1987.05.07
申请号 DE19853539183 申请日期 1985.11.05
申请人 STANDARD ELEKTRIK LORENZ AG 发明人 VOLZ,HANS,DR.RER.NAT.;KERSTEN,PETER,DR.-ING.
分类号 G03F1/08;G03F1/54;H05K3/00;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F1/08
代理机构 代理人
主权项
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