发明名称 X-RAY EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6294928(A) 申请公布日期 1987.05.01
申请号 JP19850234573 申请日期 1985.10.22
申请人 NIPPON KOGAKU KK <NIKON> 发明人 NARAKI TAKESHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址