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发明名称 APPARATUS FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS6293951(A) 申请公布日期 1987.04.30
申请号 JP19850234711 申请日期 1985.10.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HIROTA KOJI;ITO MICHIHARU;YAMAMOTO KOSAKU
分类号 H01L21/208;H01L21/368 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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