发明名称 OPTICAL DISPLACEMENT MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6293603(A) 申请公布日期 1987.04.30
申请号 JP19850235033 申请日期 1985.10.21
申请人 RION CO LTD 发明人 SEKI ATSUSHI
分类号 G01D5/26;G01B9/02;G01B11/00;G01P15/13 主分类号 G01D5/26
代理机构 代理人
主权项
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