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发明名称 WAFER CONVEYOR
摘要
申请公布号 JPS6292449(A) 申请公布日期 1987.04.27
申请号 JP19850232644 申请日期 1985.10.18
申请人 NEC CORP;YAMAGUCHI NIPPON DENKI KK 发明人 NAKATANI KENJI;HOSOKAWA KAZUNORI
分类号 B65G51/03;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B65G51/03
代理机构 代理人
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