发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6292479(A) 申请公布日期 1987.04.27
申请号 JP19850233613 申请日期 1985.10.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UENOYAMA TAKESHI;NISHII KATSUNORI
分类号 H01L21/28;H01L29/80 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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