发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DETECTING LEAKAGE OF LARGE QUANTITY OFGAS
摘要
申请公布号 JPS6287825(A) 申请公布日期 1987.04.22
申请号 JP19860230249 申请日期 1986.09.30
申请人 VARIAN ASSOC INC 发明人 POORU AARU FURUSETSUTEI
分类号 G01N27/62;G01M3/20;G01N27/04 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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