发明名称 ELEMENT ISOLATING METHOD IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6288335(A) 申请公布日期 1987.04.22
申请号 JP19850230613 申请日期 1985.10.14
申请人 SHARP CORP 发明人 OOTAKE HIROI;MIHASHI KATSUNORI;TAKASHIMA KATSUMI;SHIRAKAWA KAZUHIKO;SHIOZAKI KOJI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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