| 发明名称 |
MANUFACTURE OF ALUMINUM NITRIDE CERAMIC SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6288394(A) |
申请公布日期 |
1987.04.22 |
| 申请号 |
JP19850230259 |
申请日期 |
1985.10.15 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
UCHIUMI KAZUAKI;AISAKA TETSUYA |
| 分类号 |
C23C18/18;C23C18/16;C23C18/31;C23C18/34;C23C18/40;C23C18/44;H01L23/12;H01L23/15;H05K3/18 |
主分类号 |
C23C18/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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