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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6284552(A) 申请公布日期 1987.04.18
申请号 JP19850224012 申请日期 1985.10.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UENO KATSUNOBU
分类号 H01L27/04;H01L21/205;H01L21/822;H01L21/8222;H01L21/86;H01L27/06;H01L27/12 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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