发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6277477(A) 申请公布日期 1987.04.09
申请号 JP19850216431 申请日期 1985.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HATSUKI RIYOUICHI
分类号 C23C16/50;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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