发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6273667(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19860147979 申请日期 1986.06.24
申请人 KANKOKU DENSHI TSUSHIN KENKYUSHO 发明人 SAI SOUKUN;RI SHINKOU
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/285;H01L21/308;H01L21/331;H01L29/70;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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