| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING GAAS SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6270291(A) |
申请公布日期 |
1987.03.31 |
| 申请号 |
JP19850205319 |
申请日期 |
1985.09.19 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
WASHITSUKA SHOICHI;TERAJIMA KAZUTAKA;NISHIO JOSHI;WATANABE MASAYUKI |
| 分类号 |
C30B29/42;C30B15/02;C30B27/02;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B29/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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