发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6269616(A) 申请公布日期 1987.03.30
申请号 JP19850210637 申请日期 1985.09.24
申请人 NEC CORP 发明人 YONEYAMA MASAHIRO
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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