发明名称 VACUUM WORKING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6263668(A) 申请公布日期 1987.03.20
申请号 JP19850203044 申请日期 1985.09.13
申请人 U P ARU:KK 发明人 TAKATSU MATSUO
分类号 C23C14/24;C23C14/22;C23C14/56;C23C16/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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