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发明名称
VAPOR GROWTH FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPS6260219(A)
申请公布日期
1987.03.16
申请号
JP19850198448
申请日期
1985.09.10
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
UDAGAWA TAKASHI
分类号
H01L21/205;C30B25/02
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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