发明名称 MANUFACTURE OF HIGH IMPURITY DENSITY COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6258611(A) 申请公布日期 1987.03.14
申请号 JP19850198789 申请日期 1985.09.09
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 OE KUNISHIGE
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L21/26 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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