发明名称 APPAREIL DE CROISSANCE EPITAXIALE PAR FAISCEAUX MOLECULAIRES
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN APPAREIL DE CROISSANCE EPITAXIALE PAR FAISCEAUX MOLECULAIRES.</P><P>L'APPAREIL COMPREND UNE CHAMBRE A VIDE 1, UN SUPPORT 3 DE PORTE-ECHANTILLON DISPOSE DE MANIERE A TOURNER AUTOUR DE SON AXE 4 A L'INTERIEUR DE LADITE CHAMBRE A VIDE 1, AU MOINS UN PORTE-ECHANTILLON 6 SUPPORTE PAR LEDIT SUPPORT 3 ET PLUSIEURS GROUPES 9, 10 DE SOURCES 11, 12, 13, 14, 15 DE FAISCEAUX MOLECULAIRES POUR ASSURER LA CROISSANCE EPITAXIALE DE CRISTAUX SEMI-CONDUCTEURS SUR UN SUBSTRAT SUPPORTE PAR LEDIT PORTE-ECHANTILLON 6, DES FAISCEAUX MOLECULAIRES PROVENANT DE CHACUN DES GROUPES 9, 10 DE SOURCES DEFAISCEAUX MOLECULAIRES 11, 12, 13, 14, 15 CONVERGEANT EN AU MOINS DEUX POINTS 16, 17 QUI SONT PLACES SUR LE TRAJET ORBITAL DU PORTE-ECHANTILLON 6.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DE COMPOSANTS SEMI-CONDUCTEURS.</P>
申请公布号 FR2587040(A1) 申请公布日期 1987.03.13
申请号 FR19860012643 申请日期 1986.09.10
申请人 SHARP KK 发明人 TAKAHIRO SUYAMA, KOHSEI TAKAHASHI, SABURO YAMAMOTO, TOSHIRO HAYAKAWA ET MASAFUMI KONDO;TAKAHASHI KOHSEI;YAMAMOTO SABURO;HAYAKAWA TOSHIRO;KONDO MASAFUMI
分类号 H01L21/203;C30B23/02;(IPC1-7):C30B25/06 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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