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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6241513(U) 申请公布日期 1987.03.12
申请号 JP19850132366U 申请日期 1985.08.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/301;B28D1/04;B28D5/00;H01L21/78;(IPC1-7):B28D5/00 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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