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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6240605(U) 申请公布日期 1987.03.11
申请号 JP19850132218U 申请日期 1985.08.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/866;G05B19/02;G05B19/05;(IPC1-7):G05B19/02;H01L29/90 主分类号 H01L29/866
代理机构 代理人
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