| 发明名称 |
ETCHING OF TRANSPARENT CONDUCTING OXIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6255812(A) |
申请公布日期 |
1987.03.11 |
| 申请号 |
JP19850192066 |
申请日期 |
1985.09.02 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
NIWA OSAMU;TAMAMURA TOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L21/308;G09F9/30;H01B13/00;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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