| 发明名称 |
STROBOSCOPIC ELECTRON BEAM DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6255853(A) |
申请公布日期 |
1987.03.11 |
| 申请号 |
JP19850182308 |
申请日期 |
1985.08.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OKUBO KAZUO;ITO AKIO;GOTO YOSHIAKI;ISHIZUKA TOSHIHIRO;OZAKI KAZUYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01Q30/02;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/28 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
