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发明名称
PROCESS FOR DISLOCATION-FREE SLOT ISOLATIONS IN DEVICE FABRICATION.
摘要
申请公布号
EP0166735(A4)
申请公布日期
1987.03.09
申请号
EP19840904045
申请日期
1984.10.22
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
发明人
BAYMAN, ATIYE;THOMAS, MAMMEN
分类号
H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/76;(IPC1-7):B44C1/22;C03C15/00;C03C25/06
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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