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发明名称 DEVICE FOR GASEOUS-PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS6252200(A) 申请公布日期 1987.03.06
申请号 JP19850188844 申请日期 1985.08.28
申请人 NEC CORP 发明人 TOYOKAWA FUMITOSHI;MIKAMI MASAO
分类号 C30B25/08;C30B25/14;H01L21/205 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
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