| 发明名称 |
METAL-ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6251212(A) |
申请公布日期 |
1987.03.05 |
| 申请号 |
JP19860149330 |
申请日期 |
1986.06.25 |
| 申请人 |
PLESSEY OVERSEAS LTD |
发明人 |
RICHIYAADO JIYON MOSUTEIN GURIFUISU;RODONII ROBAATO BURATSUDORII |
| 分类号 |
C23C16/22;C23C16/18;C23C16/44;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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