发明名称 METHOD FOR FORMING WIRING PATTERN
摘要
申请公布号 JPS6246547(A) 申请公布日期 1987.02.28
申请号 JP19850186287 申请日期 1985.08.23
申请人 ROHM CO LTD 发明人 MORIWAKE MASATO;OMACHI YASUHISA
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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