| 发明名称 |
METHOD AN DEVICE FOR EXPOSING RESIST FOR SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6247126(A) |
申请公布日期 |
1987.02.28 |
| 申请号 |
JP19850186693 |
申请日期 |
1985.08.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ABE MASAYASU;MASE KOICHI;HASHIMOTO HIDETSUNA |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
