发明名称 GAS DISTRIBUTION SYSTEM FOR SPUTTERING CATHODES
摘要
申请公布号 IL70458(A) 申请公布日期 1987.02.27
申请号 IL19830070458 申请日期 1983.12.15
申请人 SHATTERPROOF GLASS CORPORATION 发明人
分类号 C23C;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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