发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6243122(A) 申请公布日期 1987.02.25
申请号 JP19850182683 申请日期 1985.08.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KIMURA JUNZO
分类号 H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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