发明名称 EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6242110(A) 申请公布日期 1987.02.24
申请号 JP19850182281 申请日期 1985.08.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HORI HITOSHI;TAKAHASHI MITSUJIRO
分类号 H01L21/30;G02B7/02;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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