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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6230337(U) 申请公布日期 1987.02.24
申请号 JP19850120967U 申请日期 1985.08.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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