发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6240729(A) 申请公布日期 1987.02.21
申请号 JP19850178616 申请日期 1985.08.15
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI;SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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