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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6240729(A)
申请公布日期
1987.02.21
申请号
JP19850178616
申请日期
1985.08.15
申请人
SONY CORP
发明人
SATO JUNICHI;SHINOHARA KEIJI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
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