发明名称
摘要
申请公布号 JPS6228838(U) 申请公布日期 1987.02.21
申请号 JP19850116456U 申请日期 1985.07.31
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;B01J19/08;B29C71/04;C08J7/00;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C08J7/00 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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