| 发明名称 |
ELEMENT SEPARATING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6240731(A) |
申请公布日期 |
1987.02.21 |
| 申请号 |
JP19850180819 |
申请日期 |
1985.08.17 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HAMASHIMA SHIGEKI;ITO MAKOTO;YAMAMOTO KOSAKU;KAWACHI TETSUYA |
| 分类号 |
H01L21/764;H01L21/306;H01L21/76;H01L31/10;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L21/764 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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