发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6237370(A) 申请公布日期 1987.02.18
申请号 JP19850175944 申请日期 1985.08.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 USUI YOSHIHIRO
分类号 C23C14/02;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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