发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6236817(A) 申请公布日期 1987.02.17
申请号 JP19850175802 申请日期 1985.08.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIURA SHINYA;HANNO TSUTOMU;KOMATANI MASATOSHI
分类号 F24F7/06;H01L21/02;H01L21/22 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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