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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6224976(U) 申请公布日期 1987.02.16
申请号 JP19850113895U 申请日期 1985.07.25
申请人 发明人
分类号 B05B15/00;B05C5/00;B05C11/10;H01L21/52;(IPC1-7):B05C11/10 主分类号 B05B15/00
代理机构 代理人
主权项
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