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发明名称 OUTSIDE AIR MIXTURE PREVENTING METHOD AND DEVICE OF VERTICAL SEMICONDUCTOR HEAT TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6235518(A) 申请公布日期 1987.02.16
申请号 JP19850174458 申请日期 1985.08.08
申请人 DEISUKO SAIYAA JAPAN:KK 发明人 OTSUKI KENJI
分类号 F27D7/06;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 F27D7/06
代理机构 代理人
主权项
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