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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6235647(A) 申请公布日期 1987.02.16
申请号 JP19850174365 申请日期 1985.08.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAMURA MITSUYOSHI;HARADA HIROTSUGU;IKEDA SHINGO;FURUTA ISAO;HARADA SHIGERU;TAKAGI HIROSHI
分类号 H01L23/522;H01L21/31;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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